空氣分離（空分）是通過(guò)深冷法/變壓吸附法將空氣分離為氧氣、氮?dú)?、氬氣等工業(yè)氣體的過(guò)程，空分系統(tǒng)常用流量計(jì)類型及對(duì)比

類型	適用場(chǎng)景	優(yōu)點(diǎn)	缺點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量計(jì)	壓縮空氣、氮?dú)?、氧氣等氣體流量	直接測(cè)質(zhì)量流量，無(wú)需溫壓補(bǔ)償	不適用于液態(tài)空氣/低溫介質(zhì)
科里奧利流量計(jì)	液氧、液氮等高純度液體測(cè)量	高精度（±0.1%）、可測(cè)密度和溫度	成本高，壓損較大
渦街流量計(jì)	中低壓氣體（如工廠空氣、氮?dú)猓?/td>	結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，耐高溫高壓	低流速時(shí)精度下降，怕振動(dòng)
差壓流量計(jì)	高壓氧氣管道（孔板/文丘里管）	耐高壓，無(wú)活動(dòng)部件	需溫壓補(bǔ)償，量程比小
超聲波流量計(jì)	大口徑空氣總管、循環(huán)氮?dú)?/td>	無(wú)壓損，雙向測(cè)量	低溫介質(zhì)需特殊校準(zhǔn)